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纳米粒度仪的电感耦合等离子体质谱

更新时间:2018-10-10 点击数:110

纳米粒度仪的电感耦合等离子体质谱

纳米粒度仪的电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)ICP-MS是使用电感耦合等离子体作为离子源的元素质谱法;离子源产生的样品离子质量通过质谱分析仪和检测器后的质谱分析;检测限低(多数元素检测限为ppb-ppt);线性范围很宽(最多7个数量级);分析速度快(1分钟内70个元素的结果));光谱干扰小(原子量差可以用1分开),并且可以进行同位素分析。

飞行时间二次离子质谱纳米粒度仪(TOF-SIMS)是用单个离子刺激样品表面以产生非常少量的二次离子,这是由于不同质量引起的二次质量。极高分辨率的测量技术,通过改变探测器的时间来确定离子的质量。使用聚焦的初级离子束对样品进行稳定的轰击,初级离子可以被样品表面反向散射(概率很小),或者它可以穿透固体样品表面上的某些原子层到达渗透中的一定深度在此过程中会发生一系列弹性和非弹性碰撞。初级离子将其部分能量转移到晶格原子。这些原子中的一些朝向表面移动并将能量转移到表面离子以发射它。该过程变为粒子溅射。当样品被离子束轰击时,可能会发生额外的物理和化学过程:一个离子进入晶格,导致晶格畸变;在被吸附层覆盖的表面上引起化学反应等。溅射粒子主要是中性原子和分子,一小部分是具有正电荷和负电荷的原子,分子和分子碎片.


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